三维光学形貌仪

三维光学形貌仪使用Sensofar有技术开发的neox光学轮廓仪，其共聚焦部分的主要是有着高发光效率的照明硬件和高对比度算法。这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。高品质干涉光学系统和集成压电扫描器是干涉轮廓仪部分的关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为neox轮廓仪提供了无限宽广的应用领域。  

可用于标准的明场彩色显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。没有移动部件使其拥有坚固而紧凑的设计，同时也使得该探头适合很多应用。极其简单的、符合人体工程学的软件界面使用户获得非常快的测量速度，只需方便地切换适当的物镜，调焦，并选择适当的采集模式即可。  

产品功能：  

共聚焦轮廓仪可以测量较光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虚焦部分光线的共焦成像系统，可提供高对比度的图像。籍由表面的垂直扫描，物镜的焦点扫过表面上的每一个点，以此找出每个像素位置的对应高度(即共聚焦图像)。  

共聚焦轮廓仪可以由其光学组件实现超高的水平解析度，空间采样可以减小到0.10μm，这是一些重要尺寸测量的理想选择。高数值孔径NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物镜可测量斜率超过70°的光滑表面。具有高的光效，共聚焦算法可提供纳米级的垂直方向重复性。超长工作距离(SLWD)可测量高宽比较大、形状较陡的样品。

北京品智创思精密仪器有限公司(以下简称品智创思)，始终专注于精密影像测量领域的影像分析及测量软件的设计与研发。品智创思公司从事表面科学、分析仪器、计量检测设备及实验室仪器系统集成商;致力于为工业制造和科研领域用户提供显微分析，图像分析，缺陷识别和检验,无损探查,品质管理,计量，过程控制等专业检测设备，依托强有力的技术资源及完善专业的售后服务与维修体系，向用户提供专业成熟细致的服务及全面地解决方案。

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