激光干涉仪

激光干涉仪是一种以激光波长为长度基准、基于光的干涉原理实现高精度测量的精密仪器，广泛应用于几何量计量、机床校准、光学检测及科学研究等领域。

其核心原理源于迈克耳逊干涉系统：一束高度相干的稳频激光（通常为632.8 nm氦氖激光）经分束器分为参考光和测量光。参考光射向固定反射镜，测量光则投向随被测目标移动的角锥反射镜。两束光返回后重新汇合并产生干涉条纹。当目标移动时，光程差变化导致干涉信号明暗交替，通过光电探测器记录条纹数量与相位变化，即可将位移量转化为以激光波长为单位的精确长度。现代激光干涉仪分辨率可达纳米甚至亚纳米级，线性测量精度通常优于±0.5 ppm（百万分之一）。

激光干涉仪不仅能测量直线位移，还可配合专用光学镜组实现角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参数的检测，并可动态采集速度、加速度等信息。在数控机床、三坐标测量机、半导体光刻设备的安装调试与定期校准中，它是国j公r的标准计量工具。此外，在引力波探测（如LIGO）等前沿科研中，超高灵敏度激光干涉系统更是不可少的核心装置。凭借非接触、高精度、可溯源至国际单位制等优势，激光干涉仪被誉为“精密的尺子”。

更多访问：

http://www.szonlylight.com/Products-39871909.html

https://www.chem17.com/st403893/product_39871909.html